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圖片 | 標 題 | 更新時間 |
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無接觸式 厚度 電阻率 手動 硅片要求 規格: 方片125125mm 、156156mm 圓片 3、4、5、6、8測量功能厚度:單點及多點厚度 TTV:總厚度偏差 體電阻率:單點及多點電阻 |
2013-01-30 | |
無接觸式 厚度 TTV Warp\翹曲度 Bow\彎曲度 能夠測量Si,藍寶石,GaAs,InP,Ge等材料硅片要求規格: 晶圓2、 3、4、5、6、8測量功能 厚度:單點及多點厚度 TTV:總厚度偏差 Warp:翹曲度Bo |
2013-01-30 |
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