用于去除硅片經擴散工序后表面產生的磷硅玻璃
優點：
1 經典槽式結構，方便維護
2 伺服驅動系統保證舉升和橫移運動高速穩定
3 可定制的工藝過程和干燥處理方式
4 完善的過程控制系統，全自動控溫和配液補液
5 友好的視窗操作界面，可進行參數設置、手動控制、工藝轉換
 
技術參數
功能 去PSG 　
產品 單晶/多晶硅電池片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
產能 單籃節拍 450秒（可依客戶要求調整）
125mm*125mm 2400 pcs/hour
156mm*156mm 1600 pcs/hour
碎片率 <0.05%
配置 Siemens PLC，10寸彩色觸摸屏，急停按鈕、指示燈及系列報警系統，PP和SUS304槽體，GF閥門與管路配件，透明移門與視窗，特氟龍水槍，氣 槍等
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