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氮化硅
■氮化硅分子式為Ｓi3Ｎ4，是一種重要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。
■它是一種超硬物質(zhì)，本身具有潤滑性，并且耐磨損；
■ 除氫氟酸外，它不與其他無機酸反應(yīng)，抗腐蝕能力強，高溫時抗氧化。
■ 而且它還能抵抗冷沖擊，加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會碎裂。
■涂噴在坩堝表面，在加熱作用下，使液態(tài)氮化硅均勻的吸附坩堝表面，形成粉狀涂層，
■涂層目的是保護石英坩堝在高溫下石英坩堝與硅隔離，使液態(tài)硅不與石英坩堝反應(yīng)，而使石英坩堝破裂，及冷確后最終保證硅碇脫膜完整性。
■技術(shù)指標(biāo)
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氮化硅
