劉建軍 (北京有色冶金設(shè)計(jì)研究總院, 北京　100038)

[ 摘　要]　本文介紹了回收氫氣凈化的基本原理、工藝流程, 及用回收氫氣生產(chǎn)多晶硅的實(shí)踐結(jié)果, 分析了半導(dǎo)體多晶硅生產(chǎn)中, 利用活性炭?jī)艋瘡倪€原爐尾氣中回收的氫氣。