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派瑞公司變壓吸附型氫氣分離凈化設(shè)備成功投運(yùn)于三氯氫硅行業(yè)

   2010-06-18 ne21.com21世紀(jì)新能源13270

今年4月份,派瑞公司和山東某三氯氫硅廠簽約的三氯氫硅尾氣凈化設(shè)備正常投入使用,連續(xù)開(kāi)車72小時(shí),設(shè)備工作狀況良好,達(dá)到了預(yù)期的設(shè)計(jì)目的和合同要求,甲方非常滿意,順利辦理了交接驗(yàn)收手續(xù)。

經(jīng)過(guò)調(diào)研,目前國(guó)內(nèi)的廠家在三氯氫硅合成過(guò)程中,均存在大量合成后的尾氣,該尾氣的主要成份為氫氣,組成比例大約為H2(80%),HCL(15%),SiHCl3(2%),SiCl4(0.5%),這些組份均是寶貴的生產(chǎn)原料,如直接淋洗后排空,既污染環(huán)境又浪費(fèi)資源,因此需要進(jìn)行分離提純。我公司采用變壓吸附原理對(duì)三氯氫硅合成工段排放的尾氣進(jìn)行分離提純,產(chǎn)品氣1為氫氣,純度可達(dá)到99.999%(可以再次進(jìn)入HCL合成爐進(jìn)行HCL合成或者其他用途),產(chǎn)品氣2為解析氣可以返回冷凝精餾工段回收SiHCl3和SiCl4。

派瑞公司于2008年開(kāi)始對(duì)該行業(yè)進(jìn)行調(diào)研、試驗(yàn),經(jīng)過(guò)技術(shù)人員歷時(shí)2年的刻苦公關(guān),終于成功投入生產(chǎn)。該設(shè)備的成功投運(yùn)為三氯氫硅行業(yè)的尾氣處理提供了可供同行業(yè)借鑒的解決方案,為企業(yè)節(jié)約了運(yùn)行成本,也避免了環(huán)境污染。同時(shí),該技術(shù)也可應(yīng)用于多晶硅行業(yè),多晶硅還原過(guò)程中產(chǎn)生的尾氣成份與此相似,比例卻低的多,更加容易處理。

 

 
標(biāo)簽: 多晶硅
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