日本愛發科（ULVAC）宣布，將于2010年7月1日上市可自動檢測串聯薄膜硅（Si）太陽能電池的單元特性及TCO（Transparent Conductive Oxide）特性的裝置“MPEC-opt1300”。該公司以整體解決方案（Turn-Key Solution，成套提供太陽能電池產生線）為中心開展業務，其中已于2009年推出了可檢測6種薄膜特性的一體型裝置“MPEC-1300”。除了該膜質檢測裝置之外，此次還推出了可自動檢測單元及TCO特性的裝置。

　　此次的產品面向量產線的抽樣檢查用途，單元特性可通過破壞檢查（分流電阻等部分特性可通過非破壞方式進行檢查），TCO特性可通過非破壞檢查分別進行檢測。可在經過太陽能電池量產線各工序的性能評測以及最終產品檢查（太陽能電池模擬器）后發現問題時用于解析原因等。作為選配項，還備有根據分流電阻檢測結果（電阻不良的位置信息）的激光修復功能，以及對現有的MPEC-1300和此次的MPEC-opt1300的檢測數據進行統一的“綜合分析軟件”。

　　在單元特性方面，原來是從形成太陽能電池單元的玻璃底板中切割下5mm見方左右，通過對其施以電極錫焊及絕緣處理來制作名為“迷你單元（Mini Cell）”的小片元件，然后采用向該元件照射或非照射光線的方式，對I-V和特性進行檢測。但是，形成迷你單元的處理需要大量人工，而且處理時間較長。愛發科表示，原來在切割玻璃時每點需要180秒，錫焊時每點需要300秒，檢測時每點需要75秒，比如81點檢測需要750分鐘，7點檢測需要65分鐘。

　　而此次的裝置可在不切割玻璃底板的情況下，利用激光對玻璃底板上形成的硅薄膜層等進行切割，形成迷你單元。這樣一來，激光切割時每點只需要30秒，檢測時每點只需要40秒，從而實現了81點檢測需要95分鐘，7點檢測需要7分鐘的短時間檢測。在單元特性的詳細檢測項目方面，可對轉換效率、短路電流、開路電壓、場形系數、最大功率、分流電阻及串聯電阻等進行檢測。

　　在TCO特性方面，原來需要進行切割玻璃底板的破壞檢查，而此次的裝置則可通過非破壞的方式對大面積的霧度特性（散射光的比例）分布等進行檢測。而且，檢測時間只有每點30秒。除霧度特性外，還可檢測全光線透射率、擴散透射率及平行光線透射率。此次裝置的價格為8400萬日元（含選配項）。愛發科將以該公司提供一攬子解決方案的太陽能電池廠商為主要對象，展開銷售。

　　現行的MPEC-1300已洽談了5臺左右的訂單，其中有1臺將于近期供貨。此次的MPEC-opt1300也制定了第一年度銷售5臺的目標。該目標“是保守估計。薄膜太陽能電池廠商也可能會優先向平板顯示器（FPD）及結晶太陽能電池進行投資，而推遲對薄膜太陽能電池的投資。因此，5臺中也許有一部分會在下一年度銷售”（愛發科標準產品事業部東日本營業部部長武田清）。（記者：長廣 恭明）