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純度99.999999999%“洛陽造”電子級多晶硅中試成功

   2023-04-10 洛陽網7430
核心提示:昨日,一塊塊散發金屬光澤的深灰色電子級多晶硅,在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐,它們的目的地,是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業。“龍門實驗室聯合企業推進的重大項目‘先進硅基光電功能材料’前不久已中試成功,標志著實

昨日,一塊塊散發金屬光澤的深灰色電子級多晶硅,在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐,它們的目的地,是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業。

“龍門實驗室聯合企業推進的重大項目‘先進硅基光電功能材料’前不久已中試成功,標志著實驗路線正式得到工藝驗證。”在龍門實驗室,智能裝備先進材料科創中心主任潘昆明難掩心中激動。

中硅高科,誕生中國第一條規模化生產多晶硅生產線的地方,如今在與龍門實驗室的“共舞”中,找到了創新突圍新的方向——電子級多晶硅。

電子級多晶硅是制造半導體芯片的原材料,被稱為電子信息產業的“糧食”。以電子級多晶硅為原材料制造的硅片,經過后期的打磨、拋光、蝕刻、光刻、封裝等環節,變身一顆顆高附加值的芯片,嵌入到手機、電腦、汽車等終端產品中。

潘昆明介紹,相比起光伏級多晶硅99.9999999%,也就是9N的純度,電子級多晶硅的純度要求高達11N,是前者的100倍。“打個比喻,就好像在國際標準泳池里最多摻一滴墨水,再多純度就不合格了。”潘昆明說。

復雜技術壁壘下,世界電子級多晶硅生產企業主要集中在美、日、德三國。我國半導體硅片制造用的電子級多晶硅95%以上依賴進口。突破電子級多晶硅生產技術,對于保障我國集成電路產業的戰略安全意義重大。

去年以來,龍門實驗室牽頭聯合中硅高科和麥斯克公司,打通電子級多晶硅制備和應用等多個環節,逐步突破超低金屬雜質控制等核心關鍵技術。

在項目推進過程中,龍門實驗室充分發揮自身基礎研究優勢,為研發提供化學、分子動力學等方面的分析和模擬。“我們通過理論推導和計算模擬,使得數以百計的工藝組合效果在電腦上精確推導,大大減少企業在生產線上試錯的成本,提高了研發的質效。”潘昆明說。

自去年3月揭牌以來,龍門實驗室既向上緊盯國家戰略需求,聚焦河南“十大戰略”,又向下扎根本地市場,充分發揮洛陽十大產業集群優勢,凝練了“先進硅基光電功能材料”等6個重大項目,涵蓋農機裝備、光電元器件、電子化工材料等領域。這些項目技術需求均來自中信重工、中國一拖等洛陽重點企業,科研成果直接服務于企業發展,實現創新鏈與產業鏈的“無縫對接”。

“未來,我們將持續推進6個重大項目,力爭年底前取得一批標志性科研成果,助力洛陽‘風口’產業發展以及國家高水平科技自立自強。”中國工程院院士、龍門實驗室主任樊會濤語氣堅定地說。


 
標簽: 龍門 實驗室 中國
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