硅片切割是太陽能光伏電池制造工藝中的關(guān)鍵部分。該工藝用于處理單晶硅或者多晶硅的固體硅錠。線鋸首先把硅錠切成方塊，然后切成很薄的硅片。（圖1）這些硅片就是制造光伏電池的基板。

圖 1.硅片切割的3個(gè)步驟： 切料, 切方和切片

硅片是晶體硅光伏電池技術(shù)中最昂貴的部分，所以降低這部分的制造成本對(duì)于提高太陽能對(duì)傳統(tǒng)能源的競爭力至關(guān)重要。本文將對(duì)硅片切片工藝、制造業(yè)的挑戰(zhàn)和新一代線鋸技術(shù)如何降低切片成本做一個(gè)概述。

線鋸的發(fā)展史

第一臺(tái)實(shí)用的光伏切片機(jī)臺(tái)誕生于1980年代，它源于Charles Hauser 博士前沿性的研究和工作。Charles Hauser 博士是瑞士HCT切片系統(tǒng)的創(chuàng)辦人，也就是現(xiàn)在的應(yīng)用材料公司PWS精確硅片處理系統(tǒng)事業(yè)部的前身。這些機(jī)臺(tái)使用切割線配以研磨漿來完成切割動(dòng)作。今天，主流的用于硅錠和硅片切割的機(jī)臺(tái)的基本結(jié)構(gòu)仍然源于Charles Hauser 博士最初的機(jī)臺(tái)，不過在處理載荷和切割速度上已經(jīng)有了顯著的提高。

切割工藝

現(xiàn)代線鋸的核心是在研磨漿配合下用于完成切割動(dòng)作的超細(xì)高強(qiáng)度切割線。最多可達(dá)1000條切割線相互平行的纏繞在導(dǎo)線輪上形成一個(gè)水平的切割線“網(wǎng)“。馬達(dá)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線輪使整個(gè)切割線網(wǎng)以每秒5到25米的速度移動(dòng)。切割線的速度、直線運(yùn)動(dòng)或來回運(yùn)動(dòng)都會(huì)在整個(gè)切割過程中根據(jù)硅錠的形狀進(jìn)行調(diào)整。在切割線運(yùn)動(dòng)過程中，噴嘴會(huì)持續(xù)向切割線噴射含有懸浮碳化硅顆粒的研磨漿。

圖 2.  硅塊通過切割線組成的切割網(wǎng).

硅塊被固定于切割臺(tái)上，通常一次4塊。切割臺(tái)垂通過運(yùn)動(dòng)的切割線切割網(wǎng)，使硅塊被切割成硅片（圖2）。 切割原理看似非常簡單，但是實(shí)際操作過程中有很多挑戰(zhàn)。線鋸必須精確平衡和控制切割線直徑、切割速度和總的切割面積，從而在硅片不破碎的情況下，取得一致的硅片厚度，并縮短切割時(shí)間。

減少硅料消耗

對(duì)于以硅片為基底的光伏電池來說，晶體硅(c-Si)原料和切割成本在電池總成本中占據(jù)了最大的部分。光伏電池生產(chǎn)商可以通過在切片過程中節(jié)約硅原料來降低成本。降低截口損失可以達(dá)到這個(gè)效果，截口損失主要和切割線直徑有關(guān)，是切割過程本身所產(chǎn)生的原料損失。切割線直徑已經(jīng)從原來的180-160µm 降低到了目前普遍使用的140-100µm 。降低切割線直徑還可以在同樣的硅塊長度下切割出更多的硅片，提升機(jī)臺(tái)產(chǎn)量。

讓硅片變得更薄同樣可以減少硅原料消耗。在過去的十多年中，光伏硅片的厚度從原來的330µm 降低到現(xiàn)在普遍的180-220µm 范圍內(nèi)。這個(gè)趨勢(shì)還將繼續(xù)，硅片厚度將變成 100μm. 減少硅片厚度帶來的效益是驚人的，從330μm 到 130μm， 光伏電池制造商最多可以降低總體硅原料消耗量 多達(dá)60%。

制造業(yè)的挑戰(zhàn)

在硅片切割工藝中我們需要面對(duì)多項(xiàng)挑戰(zhàn)，主要聚焦于線鋸的生產(chǎn)力，也就是單位時(shí)間內(nèi)生
產(chǎn)的硅片數(shù)量。生產(chǎn)力取決于以下幾個(gè)因素：

1) 切割線直徑 ? 更細(xì)的切割線意味著更低的截口損失，也就是說同一個(gè)硅塊可以生產(chǎn)更多的硅片。然而，切割線更細(xì)更容易斷裂。

2) 荷載 ? 每次切割的總面積，等于硅片面積X每次切割的硅塊數(shù)量X每個(gè)硅塊所切割成的硅片數(shù)量 。

3) 切割速度 ? 切割臺(tái)通過切割線切割網(wǎng)的速度，這在很大程度上取決于切割線運(yùn)動(dòng)速度，馬達(dá)功率和切割線拉力。

4) 易于維護(hù)性 ? 線鋸在切割之間需要更換切割線和研磨漿，維護(hù)的速度越快，總體的生產(chǎn)力就越高。

生產(chǎn)商必須平衡這些相關(guān)的因素使生產(chǎn)力達(dá)到最大化。更高的切割速度和更大的荷載將會(huì)加大切割切割線的拉力，增加切割線斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。由于同一硅塊上所有硅片是同時(shí)被切割的，只要有一條切割線斷裂，所有部分切割的硅片都不得不丟棄。  然而，使用更粗更牢固的切割線也并不可取，這會(huì)減少每次切割所生產(chǎn)的硅片數(shù)量，并增加硅原料的消耗量。

硅片厚度也是影響生產(chǎn)力的一個(gè)因素，因?yàn)樗P(guān)系到每個(gè)硅塊所生產(chǎn)出的硅片數(shù)量。超薄的硅片給線鋸技術(shù)提出了額外的挑戰(zhàn)，因?yàn)槠渖a(chǎn)過程要困難得多。除了硅片的機(jī)械脆性以外，如果線鋸工藝沒有精密控制，細(xì)微的裂紋和彎曲都會(huì)對(duì)產(chǎn)品良率產(chǎn)生負(fù)面影響。超薄硅片線鋸系統(tǒng)必須可以對(duì)工藝線性、切割線速度和壓力、以及切割冷卻液進(jìn)行精密控制。

無論硅片的厚薄，晶體硅光伏電池制造商都對(duì)硅片的質(zhì)量提出了極高的要求。硅片不能有表面損傷（細(xì)微裂紋、線鋸印記），形貌缺陷（彎曲、凹凸、厚薄不均）要最小化，對(duì)額外后端處理如拋光等的要求也要降到最低。

新一代線鋸產(chǎn)品

為了滿足市場對(duì)于更低成本和更高生產(chǎn)力的要求，新一代線鋸必須提升切割速度，使用更長的硅塊從而提高切割荷載。更細(xì)的切割線