Edwards中國分公司總經理  許堅

    你能想象讓舒馬赫駕駛著QQ依然馳騁在F1賽車場上嗎？縱然擁有總冠軍的嫻熟技能，但是如果沒有過硬的硬件支撐，恐怕他也只能望“車”興嘆。對于制造工藝來說，真空泵的性能往往會決定工藝走得能有多遠。

    “隨著芯片制造幾十年的發展，它已經由新興產業慢慢地向成熟產業過渡。目前的很多新興產業，比如光伏、LCD、OLED等，都或多或少地采用了半導體制造工藝，如刻蝕、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中國分公司總經理許堅說。“制造工藝的復雜度不斷提升，對包括真空泵在內的設備硬件提出了更苛刻的要求。”

    太陽能和新半導體制造工藝（如砷化鎵化合物半導體）要求真空技術能夠處理大流量的氫氣，然而氫氣的分子量小、粘度低，是一種難以抽取的氣體。Edwards針對這一趨勢推出了iXH真空泵系統。該系統采用一系列具有高抽氣速率的干式泵和增壓泵以達到最佳的壓縮比，從而實現高效率地抽取氫氣。其更長的使用壽命和更低的動力消耗大大減少了運行成本。運行成本的下降是通過能耗下降10％、維修間隔延長以及意外停機時間減少而實現的。

    “在太陽能光伏制造中，薄膜太陽能電池的工藝腔遠遠大于傳統的半導體反應腔，腔體的增大意味著對抽真空能力更高的要求。大設備需要大的抽氣量并快速達到真空度要求。”許堅坦言：“對于大面積襯底的非晶硅/微晶硅薄膜太陽能電池制造，在硅薄膜的淀積過程中需要高流量的氫氣和清洗機臺所需的大流量含氟氣體，真空系統的模塊化就成為了一個很好的解決方案。”

    晶體硅太陽能電池對真空泵的要求相比薄膜太陽能電池要低，但除氣裝置和設備穩定性對兩者都很重要。光伏產業本身是綠色能源的代表，制造過程更應注重除氣和環保。此外，真空設備需要更高的可靠性以減少生產故障率，昂貴的原材料和較高的工廠資本投入需要通過新技術和新產品的開發來降低運行成本和擁有成本。

    半導體的核心技術往往掌握在設備商手中，而設備的核心又主要集中在國外發達國家。光伏行業則不盡相同，中國本土的光伏設備廠商也擁有一定的核心技術，這就為Edwards創造了更好的本土合作機會。“我們與本土設備制造商靠得更緊，因此合作也會更加緊密。很多合作是從設備的設計階段就展開的。中國光伏市場的興起為我們創造不少的商機。”許堅表示，“2008年Edwards光伏領域的成長比07年翻了一番，2009年雖然受全球經濟衰退的影響，但最近歐洲太陽能市場已經開始有好轉的跡象。總體來說，光伏的持續成長是顯而易見的。”

    對于在中國市場的成功經驗，許堅認為首先是Edwards在中國建立了完善的供應和服務系統。中國的半導體和光伏制造業較為分散，產業鏈的各個環節分布在不同的地域。為應對這種情況，Edwards在國內建立了多個服務點和供應網絡，以便及時應對客戶需求。維修中心能夠提供全面的銷售及維修服務，并由一個完善的管理架構作支持。另外，貼近客戶也是Edwards的優勢之一。半導體設備投資巨大，零部件供應商需要緊隨客戶需求，提供一整套的服務和駐廠服務支持，從而保證設備運轉的穩定性，由此幫助客戶控制成本并實現較高的運行效率。

    經濟和市場的走勢總是難以捉摸，沒有誰能預知一切。對于設備廠商來說，及時捕捉產業變化必不可少。當半導體行業漸漸歸于成熟之時，進軍光伏或許是個不錯的選擇。