筆者采訪了6月15~17日在京都舉行的半導體元件技術國際會議“2009 Symposium on VLSI Technology”(以下稱VLSI研討會)。由于聽聞不久前在美國舉行的顯示器展會“SID 2009”的大部分演講會場都出現了明顯的空座現象,筆者猜想到,VLSI研討會也許會發生類似的情況。
VLSI研討會開幕后,與會者人數的確少于往年,但會場仍與往年一樣充滿活力。筆者幾乎每年都報道VLSI,此次直到最后一天也“沒有感到乏味”。盡管開幕之前就報道了VLSI研討會與往屆的不同之處,但未感到乏味可能是由于以邏輯LSI為主的“新技術”的論文增加了的緣故。
就在2~3年前,大部分研討會還都以應變硅及high-k/金屬柵極等最近的技術為對象,到了會議后半期就會“令人乏味”。而此次從Ge到III-V族半導體、石墨烯及Post-CMOS元件,可謂應有盡有。是否能推出產品姑且不論,整個半導體產業在設法挖掘產業潛力的態度可略見一斑。
在此次允許持有“自由想法”的研討會上,只有一場會議氣氛比較壓抑。那就是最后一天上午舉行的NAND型閃存相關會議(Session10A)。共發表了4篇論文,其中3篇來自于市場份額居首位的韓國三星電子(Samsung Electronics)(其中一篇與美國加利福尼亞大學聯名發表),另一篇則來自于該公司的競爭對手東芝,業界雙雄難以決出勝負。之所以用“氣氛壓抑”來形容,是因為筆者感到,大多數NAND型閃存技術人員“完全看不清今后的技術發展趨勢”。
NAND型閃存在幾乎以一年半時間升級一代的速度實現微細化的同時,也在不斷接近微細化的極限。目前的現狀是,微細化會繼續進行到什么程度,之后的技術方案是什么,“任何人都不是很清楚”(知名閃存廠商的技術人員)。三星的3篇論文充分考慮了這種情況。此次發表的技術都沿著三維方向重疊存儲單元,達到微細化極限之后仍能進一步擴大容量。每位演講者都極力強調,這些技術均比東芝在前一天舉行的重點會議(Session7)上發表的三維NAND型閃存技術具有優勢。在臺下認真傾聽的筆者也不禁興奮起來,覺得演講“十分有趣”。
筆者十分樂于報道半導體業界的信息,但08年發生雷曼事件以后,報道的都是令人心情沉重的新聞。這種情況下,在此次的VLSI研討會上,至少技術開發現場使筆者產生了積極的想法,“半導體技術人員還有很多工作要做,報道這些信息的媒體同樣有許多工作要做”。(記者:大下 淳一)