日本康肯株式會社（kanken）1978年成立，投入新技術產業的揮發性有機氣體（VOCs）處理，已有30年以上專業經驗，為制程廢氣處理（Scrubber）的專家，被公認為污染防治設備界的翹楚。kanken臺灣子公司--臺灣康肯環保設備公司去年成立，提供本地半導體及太陽能產業所需服務。

該公司推出多款Scrubber除害機，KT1000FA是專為去除SiH4 、SiH2Cl2、WF6、PH3及4MS等半導體前段制程產生的有毒氣體而設計；KT1000Fi-HS 機臺適用于太陽能廠，可濾除SiH4、NH3及H2；廣泛出現在工業制程的NF3、C2F6及C3F8，是造成地球暖化的元兇之一，KT1000HA機臺提供了最佳解決方案。

臺灣康肯環保設備公司總經理山本富男表示，KT1000FA設備采熱電式設計，比吸附式機種節省耗材工本，也不會有燃燒式機種會產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較高，臺灣前二大晶圓代車間共采購KT1000FA超過1,100臺。KT1000FA堅固耐用，第一部售出的機臺已逾七年，至今仍未除役，深受客戶肯定。

KT1000FA在日本為第一品牌，臺灣市場雖面臨美、德、英、韓及本土品牌產品的激烈競爭，但在12寸晶圓流水線的市占率始終遙遙領先對手；在大陸、新加坡及馬來西市場也有很好的口碑。該機處理的濃度符合需求，可提供客制化機臺為其最大優勢。

山本富男表示，處理NF3、C2F6及C3F8所需的溫度較高（1,100度以上），業界已采購40臺KT1000HA，使用情形良好，是重視環保的企業眼中的優良產品。

康肯環保公司電話（03）577-3616號。（翁永全）